HYDAC賀德克傳感器EDS3446-2-0400-000詳解

誤差原因：

首先的偏移量誤差：由于壓力傳感器在整個(gè)壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。

其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過(guò)程的變化。

第三是線性誤差：這是一個(gè)對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對(duì)于帶放大器的傳感器，還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器。

最后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中，壓力傳感器的滯后誤差全可以忽略不計(jì)，因?yàn)楣杵哂懈叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化

大的情形中考慮滯后誤差。

測(cè)量原理：

壓力傳感器的工作原理多種多樣，但歸根結(jié)底都是將壓力這一物理量轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行傳輸和處理。

壓力傳感器的種類繁多，如壓阻式壓力傳感器、壓電式壓力傳感器、電阻應(yīng)變式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器、薄膜壓力傳感器等。

目前應(yīng)用較為廣泛的壓力傳感器有：擴(kuò)散硅壓阻式（MEMS)壓力傳感器、陶瓷壓阻式壓力傳感器、陶瓷電容式壓力傳感器，應(yīng)變式壓力傳感器，濺射薄膜壓力傳感器、耐高溫特性的藍(lán)寶石壓力傳感器。

后面感算將會(huì)分期具體介紹以下品類：MEMS壓力傳感器、陶瓷壓力傳感器、微熔壓力傳感器等。

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